機器概要＿E002 ツイート E002 両面マスクアライメント露光装置 規格：(株)ナノテック ?MASK ALIGNER BA100iw 概要： 付帯条件：フォトマスクをユーザーが用意する必要がある（適用試料Φ3~4インチ） 注意事項：精密で高価な装置のため，１回の講習だけで独自操作はできない。運営では，数回付き添っての確認をしている。 利用料金：運転料 2000円／時間、消耗品料 0円
